Forno ad atmosfera
Forno a idrogeno ad alta pulizia a 6 canali, max 1200°C, per ricottura ad alta produttività
Numero articolo: TU-QF25
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Panoramica del prodotto
Questo sistema di lavorazione termica multicanale ad alte prestazioni è progettato per applicazioni avanzate di scienza dei materiali e di R&D industriale che richiedono purezza estrema e capacità ad alta produttività. Integrando sei canali di riscaldamento indipendenti all'interno di una camera specializzata ad alta pulizia, l'apparecchiatura consente a ricercatori e ingegneri di eseguire più cicli di trattamento termico simultanei con parametri diversi. Questa configurazione accelera in modo significativo i flussi di lavoro sperimentali mantenendo al contempo un ambiente controllato adatto ai materiali più sensibili, inclusi semiconduttori, leghe avanzate e ceramiche ad alta purezza.
Progettato specificamente per il funzionamento in ambienti cleanroom, il sistema raggiunge un livello di pulizia conforme alla US FED STD 209E Classe 100. L'architettura interna utilizza isolamento e trattamenti superficiali di alta qualità per prevenire la contaminazione da particolato, rendendolo la soluzione ideale per la ricottura di wafer semiconduttori, la ricerca sulla deposizione di film sottili e la sinterizzazione ad alta purezza. Questa unità eccelle nei processi in atmosfera controllata, offrendo robusta compatibilità con ambienti di idrogeno, vuoto e gas inerti, garantendo prestazioni versatili per complesse procedure metallurgiche e di sintesi chimica.
Costruita per offrire affidabilità a lungo termine in contesti industriali e accademici impegnativi, l'apparecchiatura presenta una camera in acciaio inox per impieghi gravosi e protocolli di sicurezza avanzati. L'inclusione di meccanismi specializzati di sicurezza per l'idrogeno e di automazione precisa consente un funzionamento continuo e non presidiato con totale fiducia. Che venga installato in laboratori universitari o in linee pilota aziendali, questo sistema rappresenta un investimento premium nella precisione del trattamento termico, offrendo risultati coerenti e riproducibili su ogni canale.
Caratteristiche principali
- Sei canali di riscaldamento indipendenti: Ogni canale è dotato di un proprio sistema dedicato di controllo della temperatura e infrastruttura di erogazione del gas, consentendo la lavorazione simultanea di sei campioni distinti a temperature e condizioni atmosferiche diverse.
- Certificazione di pulizia Classe 100: La camera in fibra di allumina ad alta purezza presenta una superficie specializzata rivestita in allumina, progettata per ridurre al minimo la generazione di polvere e il degasaggio, garantendo un ambiente interno conforme agli standard US FED STD 209E Classe 100.
- Sistema avanzato di sicurezza per l'idrogeno: Per prevenire potenziali esplosioni, l'apparecchiatura utilizza un sistema di circolazione di gas inerte nello strato isolante tra il tubo e la camera. In caso di guasto del tubo, l'idrogeno viene contenuto in sicurezza e diluito in questo interstrato protettivo.
- Integrazione precisa di PID e PC: Ogni modulo di riscaldamento è gestito da un controllore intelligente programmabile a 50 segmenti, completamente integrato con software basato su PC per il monitoraggio in tempo reale, la registrazione dei dati e il controllo automatico completo dei cicli di riscaldamento, mantenimento e raffreddamento.
- Camera in fibra di allumina ad alta purezza: La camera è realizzata in fibra ceramica formata sotto vuoto per offrire un isolamento termico superiore e un'elevata efficienza di riscaldamento, estendendo al contempo in modo significativo la vita operativa dei componenti interni.
- Scocca a doppio strato raffreddata ad aria: La struttura esterna impiega un design a doppio strato con raffreddamento ad aria forzata integrato, garantendo che le superfici esterne rimangano sicure al tatto anche durante il funzionamento prolungato alla massima temperatura interna.
- Gestione automatizzata di gas e pressione: La modalità di sinterizzazione a pressione costante controllata dal software regola automaticamente le portate del gas per mantenere una pressione stabile e leggermente positiva, assicurando una densità atmosferica costante durante il processo di trattamento termico.
- Flange indipendenti raffreddate ad acqua: Sei set di flange in acciaio inox 304 con porte di raffreddamento ad acqua integrate proteggono le guarnizioni O-ring, garantendo integrità del vuoto a lungo termine e stabilità ad alta pressione durante intensi cicli ad alta temperatura.
- Opzioni di tubo personalizzabili: Sebbene i tubi standard siano in quarzo ad alta purezza, il sistema supporta tubi in lega a base di nichel o in lega di zirconio per adattarsi ad ambienti corrosivi specializzati o a specifici requisiti di temperatura fino a 1200°C.
- Documentazione completa dei dati: Tutti i dati del processo sperimentale, incluse le curve di temperatura, i livelli di pressione e lo stato del vuoto, vengono registrati e possono essere esportati per un'analisi approfondita e la verifica del controllo qualità.
Applicazioni
| Applicazione | Descrizione | Vantaggio principale |
|---|---|---|
| Ricottura di semiconduttori | Trattamento termico ad alta purezza di wafer di silicio e semiconduttori composti in condizioni di cleanroom. | Riduce al minimo la contaminazione da particolato e garantisce un recupero cristallino uniforme. |
| Riduzione con idrogeno | Riduzione di ossidi metallici a polveri metalliche pure o film sottili mediante un'atmosfera controllata di idrogeno. | Lavorazione ad alta produttività con protocolli di sicurezza integrati per gas esplosivi. |
| Metallurgia avanzata | Sinterizzazione e trattamento termico di leghe ad alta temperatura e metalli non ferrosi in fasi distinte. | I canali indipendenti consentono rapidi studi comparativi sui materiali. |
| R&D sui film sottili | Lavorazione termica di film sottili funzionali su substrati ceramici o in vetro in vuoto o in gas inerte. | Previene l'ossidazione e garantisce un controllo preciso della microstruttura del film. |
| Test di materiali nucleari | Analisi ad alta temperatura di materiali specializzati in atmosfere operative simulate. | Contenimento robusto e registrazione dati affidabile per ricerche sensibili. |
| Sinterizzazione ceramica | Sinterizzazione di ceramiche tecniche avanzate, inclusi materiali dentali e componenti strutturali. | Eccezionale uniformità di temperatura in tutte e sei le zone campione. |
| Test di controllo qualità industriale | Test in batch di campioni di materiale per verificare stabilità termica e resistenza chimica tra diversi lotti di produzione. | Aumenta la produttività del laboratorio eseguendo simultaneamente più profili di prova. |
Specifiche tecniche
| Categoria | Parametro | Specifiche (TU-QF25) |
|---|---|---|
| Identificazione del modello | Numero articolo prodotto | TU-QF25 |
| Alimentazione | Potenza in ingresso | AC trifase 380V; 50/60Hz |
| Potenza massima | 48 KW | |
| Prestazioni di temperatura | Temperatura operativa max. | 1200℃ (≤ 30 min) |
| Temperatura continua | 1100℃ | |
| Velocità di riscaldamento | ≤ 10℃/min | |
| Lunghezza zona di riscaldamento | 700 mm | |
| Precisione della temperatura | ± 1℃ (controllori europei opzionali ± 0.1℃) | |
| Sistema di controllo | Modello del controllore | Controllore intelligente PID 858P |
| Programmazione | Controllo programmabile a 50 segmenti | |
| Interfaccia di controllo | Porta di comunicazione PC DB9 con software specializzato | |
| Modalità di controllo | Modalità di purga automatica; Modalità di sinterizzazione a pressione costante | |
| Costruzione | Materiale della camera | Fibra di allumina ad alta purezza con rivestimento superficiale |
| Elementi riscaldanti | Molybdenum iron chromium aluminum | |
| Termocoppia | Tipo K | |
| Livello di pulizia | US FED STD 209E Classe 100 | |
| Gas & Vuoto | Tipo di flangia | Flange raffreddate ad acqua in acciaio inox 304 (KF60/KF25) |
| Controllo del flusso di gas | 6 flussometri indipendenti a galleggiante (40-400 ml/min) | |
| Sfiato meccanico standard | Si apre a 0.04 MPa | |
| Intervallo di pressione di sinterizzazione | 100,000 Pa - 115,000 Pa (regolazione automatica) | |
| Specifiche del tubo | Dimensioni standard del quarzo | Φ25x19 ID, Φ50x44 ID, Φ60x55 ID (Lunghezza: 1200 mm) |
| Tubi in lega opzionali | Lega a base di nichel (1200℃) / lega di zirconio (800℃) | |
| Accessori opzionali | Trattamento gas combustibile | 200W, AC220V, con protezione tramite trasformatore di corrente |
| Rilevazione idrogeno | Fissa o portatile (intervallo 1-1000ppm) | |
| Pompe da vuoto | Meccanica (10^-2 Torr) o molecolare (10^-5 Torr) | |
| Unità refrigeratore | CW-6300 (capacità di raffreddamento 26826 Btu/h) |
Perché scegliere il forno a idrogeno ad alta pulizia a 6 canali max 1200°C per ricottura ad alta produttività
- Produttività e versatilità senza pari: Questo sistema svolge efficacemente il lavoro di sei forni separati, consentendo un enorme incremento delle attività di R&D senza aumentare l'ingombro dell'apparecchiatura o i consumi energetici.
- Compatibilità superiore con cleanroom: Progettato per ambienti ad alta purezza, il sistema garantisce che i campioni rimangano privi di contaminanti, requisito fondamentale per la moderna ricerca su semiconduttori e nanotecnologie.
- Ingegneria orientata alla sicurezza: Con interstrati di gas inerte integrati e dispositivi opzionali per il trattamento dei gas combustibili, questa apparecchiatura stabilisce lo standard di settore per la lavorazione termica sicura in atmosfera di idrogeno.
- Automazione di precisione e integrità dei dati: L'interfaccia software avanzata non solo automatizza complesse routine di purga del gas e sinterizzazione, ma garantisce anche la registrazione di ogni dato per la conformità normativa e la validazione scientifica.
- Personalizzabile e a prova di futuro: Dai vari materiali del tubo all'integrazione avanzata di pompe molecolari, il sistema può essere adattato alle attuali esigenze di ricerca e aggiornato man mano che evolvono i requisiti di lavorazione.
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