Forno RTP
Forno a tubo scorrevole a doppia zona di temperatura da 1200°C per la crescita di materiali 2D e sintesi TCVD
Numero articolo: TU-RT10
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Panoramica del prodotto

Questo sistema a doppio forno ad alte prestazioni è progettato specificamente per la sintesi di materiali 2D avanzati e la deposizione di film sottili complessi. Integrando due unità di forno indipendenti su un unico tubo di processo da 80 mm, l'apparecchiatura consente la creazione di gradienti di temperatura precisi e ambienti termici distinti per la sublimazione e la deposizione. Un forno è progettato come unità fissa, mentre l'altro è dotato di un meccanismo di scorrimento ad alta velocità, consentendo a ricercatori e ingegneri industriali di spostare i campioni tra zone ad alta temperatura e condizioni ambientali con eccezionale velocità e ripetibilità.
Il sistema è ideale per i processi di deposizione chimica da vapore termica (TCVD), in particolare nella produzione di monostrati di dicalcogenuri di metalli di transizione (TMDC) 2D e microcristalli di perovskite avanzati. Separando la zona di evaporazione del precursore dalla zona di crescita, questa apparecchiatura offre un controllo senza pari sulla pressione di vapore e sui rapporti stechiometrici. La versatilità della configurazione a doppia zona lo rende uno strumento essenziale per i laboratori di scienza dei materiali e le strutture di R&S high-tech focalizzate su grafene, nanotubi di carbonio e film sottili semiconduttori.
Progettata per un uso industriale impegnativo, l'apparecchiatura privilegia l'integrità strutturale e la stabilità termica. La combinazione di quarzo fuso ad alta purezza, elementi riscaldanti progettati con precisione e un robusto sistema di binari di scorrimento lineare garantisce che ogni ciclo sia coerente e affidabile. Questa unità offre la durata necessaria per il funzionamento continuo sotto vuoto o in condizioni di atmosfera controllata, offrendo ai team di approvvigionamento e ai responsabili della ricerca la massima fiducia nel loro investimento di capitale a lungo termine.
Caratteristiche principali
- Controllo indipendente a doppia zona: Questo sistema utilizza due unità di riscaldamento separate, ciascuna dotata del proprio controller di temperatura PID dedicato, consentendo temperature di sublimazione e deposizione distinte senza interferenze termiche.
- Processo termico rapido tramite meccanismo di scorrimento: Il forno sul lato destro è montato su un sistema a doppio binario di scorrimento lineare, che gli consente di allontanarsi dalla zona di crescita per ottenere velocità di raffreddamento ultra-rapide di circa 100°C/min, cruciali per le fasi di tempra e per preservare la morfologia del materiale.
- Movimento lineare di precisione: Il forno scorrevole è azionato da un motore elettrico da 200W con controlli manuali di velocità e direzione, supportato da binari in acciaio cromato per un movimento fluido e privo di vibrazioni durante le fasi critiche di crescita.
- Forno fisso avanzato a zone multiple: L'unità fissa sul lato sinistro presenta una configurazione a tre zone (152,4 mm ciascuna), fornendo una zona a temperatura costante estesa e consentendo la regolazione fine del profilo termico attraverso la sorgente del precursore.
- Ambiente di lavorazione in quarzo ad alta purezza: Il tubo in quarzo fuso da 80 mm di diametro fornisce un ambiente pulito e chimicamente inerte per reazioni sensibili, supportando portate fino a 1000 sccm e pressioni fino a 0,4 bar.
- Regolazione termica sofisticata: Dotato di controller FA-YD518P-AG, il sistema offre 30 segmenti programmabili per rampa, mantenimento e raffreddamento, con funzioni di auto-tuning integrate per mantenere una precisione di ±1°C.
- Tecnologia di riscaldamento durevole: Elementi riscaldanti in lega Fe-Cr-Al di alta qualità, drogati con molibdeno, forniscono una temperatura di lavoro massima di 1200°C e un'eccellente resistenza all'ossidazione per una maggiore durata.
- Capacità di integrazione del vuoto: Le flange per vuoto in acciaio inossidabile con manometri integrati sono standard, consentendo al sistema di raggiungere livelli di vuoto fino a 10E-5 torr se abbinato a una pompa molecolare.
- Monitoraggio completo della sicurezza: Il sistema include allarmi integrati per sovratemperatura e guasto della termocoppia, garantendo la sicurezza dell'apparecchiatura e dell'operatore durante i cicli ad alta temperatura.
Applicazioni
| Applicazione | Descrizione | Vantaggio chiave |
|---|---|---|
| Crescita di monostrati TMDC | Sintesi di MoS2, WS2 e altri dicalcogenuri di metalli di transizione. | Controllo preciso delle temperature di sublimazione rispetto alla deposizione per monostrati di alta qualità. |
| Sintesi di perovskite | Deposizione da vapore di CsPbBr3 e altre perovskiti alogenure. | Il controllo indipendente delle zone mantiene rapporti stechiometrici ideali attraverso la gestione della pressione di vapore. |
| Fabbricazione di grafene | TCVD ad alta temperatura su catalizzatori metallici utilizzando precursori di carbonio. | Il forno scorrevole consente una tempra rapida per controllare la dimensione dei grani e gli strati. |
| CVD di nanotubi di carbonio (CNT) | Crescita mediata da catalizzatore di nanotubi a parete singola o multipla. | L'erogazione di gas ad alto flusso e le zone di temperatura costanti garantiscono un allineamento uniforme. |
| Epitassia in fase vapore | Crescita controllata di film sottili su substrati cristallini. | Interferenza termica minima tra precursori e substrato di crescita. |
| Drogaggio di semiconduttori | Diffusione di droganti in wafer semiconduttori sotto atmosfere controllate. | Il controllo PID di precisione garantisce profili di drogaggio ripetibili su più lotti. |
| Sintesi di nanofili | Crescita VLS (Vapor-Liquid-Solid) di nanofili semiconduttori e di ossido. | Il raffreddamento rapido previene la crescita secondaria indesiderata o le trasformazioni di fase. |
Specifiche tecniche
| Categoria | Specifica | Valore parametro (TU-RT10) |
|---|---|---|
| Riferimento modello | Sistema TU-RT10 | Configurazione scorrevole a doppio forno |
| Forno scorrevole (destro) | Modello forno | OTF-1200X a zona singola |
| Distanza di scorrimento | 300 mm | |
| Zona di riscaldamento totale | 440 mm | |
| Zona a temp. costante | 150 mm (±1 °C) | |
| Temperatura massima | 1200 °C (<1 ora); 1100 °C (continuo) | |
| Forno fisso (sinistro) | Modello forno | OTF-1200X-III-C a tre zone |
| Lunghezze zona riscaldamento | 152,4 mm + 152,4 mm + 152,4 mm (totale 450 mm) | |
| Zona a temp. costante | 200 mm (±1 °C) | |
| Temperatura massima | 1200 °C (<1 ora); 1100 °C (continuo) | |
| Tubo di processo | Materiale | Quarzo fuso ad alta purezza |
| Dimensioni | 80 mm D.E. x 72 mm D.I. x 1800 mm lunghezza | |
| Pressione massima | 0,4 bar (5,8 psi) | |
| Portata massima | 1000 sccm | |
| Elementi riscaldanti | Tipo | Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo |
| Controllo temperatura | Precisione | ±1 ºC (Eurotherm opzionale ±0,1°C) |
| Programmabilità | 30 segmenti (rampa, raffreddamento, mantenimento) | |
| Termocoppia | Tipo K (quattro incluse) | |
| Meccanismo di scorrimento | Binari | Doppi binari di scorrimento lineari (acciaio cromato) |
| Motore | 208 – 240 VAC monofase, 200 W | |
| Requisiti di alimentazione | Forno scorrevole | AC 208-240V monofase, 3 kW |
| Forno fisso | AC 208-240V monofase, 4 kW | |
| Vuoto e gas | Flange per vuoto | Acciaio inossidabile con manometro |
| Vuoto massimo | 10E-5 torr (con pompa molecolare) | |
| Conformità | Standard | Certificazione CE (NRTL/CSA disponibile) |
Perché scegliere TU-RT10
- Flessibilità termica superiore: La combinazione unica di un forno fisso a tre zone e un forno scorrevole a zona singola fornisce la piattaforma più versatile per processi CVD complessi disponibile sul mercato.
- Affidabilità comprovata: Costruita con elementi riscaldanti in lega premium e un robusto sistema di scorrimento meccanico, questa apparecchiatura è progettata per la longevità e prestazioni costanti in ambienti di R&S intensivi.
- Ingegneria di precisione: Con una precisione della temperatura mantenuta entro ±1°C e componenti di movimento lineare di alta qualità, gli utenti possono ottenere risultati altamente ripetibili per la sintesi di materiali sensibili.
- Scalabile e personalizzabile: Il design modulare consente aggiornamenti ai controller Eurotherm per una precisione ancora maggiore e l'integrazione con sistemi di erogazione gas multicanale per soddisfare specifiche esigenze di ricerca.
- Conformità completa: I nostri sistemi sono certificati CE e costruiti secondo gli standard di sicurezza internazionali, garantendo una facile integrazione in qualsiasi laboratorio professionale o struttura industriale.
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