Forno a tubo scorrevole a doppia zona di temperatura da 1200°C per la crescita di materiali 2D e sintesi TCVD

Forno RTP

Forno a tubo scorrevole a doppia zona di temperatura da 1200°C per la crescita di materiali 2D e sintesi TCVD

Numero articolo: TU-RT10

Temperatura massima: 1200°C Velocità di raffreddamento: 100°C/min tramite meccanismo di scorrimento Diametro del tubo di lavorazione: 80 mm
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Panoramica del prodotto

Immagine del prodotto 1

Questo sistema a doppio forno ad alte prestazioni è progettato specificamente per la sintesi di materiali 2D avanzati e la deposizione di film sottili complessi. Integrando due unità di forno indipendenti su un unico tubo di processo da 80 mm, l'apparecchiatura consente la creazione di gradienti di temperatura precisi e ambienti termici distinti per la sublimazione e la deposizione. Un forno è progettato come unità fissa, mentre l'altro è dotato di un meccanismo di scorrimento ad alta velocità, consentendo a ricercatori e ingegneri industriali di spostare i campioni tra zone ad alta temperatura e condizioni ambientali con eccezionale velocità e ripetibilità.

Il sistema è ideale per i processi di deposizione chimica da vapore termica (TCVD), in particolare nella produzione di monostrati di dicalcogenuri di metalli di transizione (TMDC) 2D e microcristalli di perovskite avanzati. Separando la zona di evaporazione del precursore dalla zona di crescita, questa apparecchiatura offre un controllo senza pari sulla pressione di vapore e sui rapporti stechiometrici. La versatilità della configurazione a doppia zona lo rende uno strumento essenziale per i laboratori di scienza dei materiali e le strutture di R&S high-tech focalizzate su grafene, nanotubi di carbonio e film sottili semiconduttori.

Progettata per un uso industriale impegnativo, l'apparecchiatura privilegia l'integrità strutturale e la stabilità termica. La combinazione di quarzo fuso ad alta purezza, elementi riscaldanti progettati con precisione e un robusto sistema di binari di scorrimento lineare garantisce che ogni ciclo sia coerente e affidabile. Questa unità offre la durata necessaria per il funzionamento continuo sotto vuoto o in condizioni di atmosfera controllata, offrendo ai team di approvvigionamento e ai responsabili della ricerca la massima fiducia nel loro investimento di capitale a lungo termine.

Caratteristiche principali

  • Controllo indipendente a doppia zona: Questo sistema utilizza due unità di riscaldamento separate, ciascuna dotata del proprio controller di temperatura PID dedicato, consentendo temperature di sublimazione e deposizione distinte senza interferenze termiche.
  • Processo termico rapido tramite meccanismo di scorrimento: Il forno sul lato destro è montato su un sistema a doppio binario di scorrimento lineare, che gli consente di allontanarsi dalla zona di crescita per ottenere velocità di raffreddamento ultra-rapide di circa 100°C/min, cruciali per le fasi di tempra e per preservare la morfologia del materiale.
  • Movimento lineare di precisione: Il forno scorrevole è azionato da un motore elettrico da 200W con controlli manuali di velocità e direzione, supportato da binari in acciaio cromato per un movimento fluido e privo di vibrazioni durante le fasi critiche di crescita.
  • Forno fisso avanzato a zone multiple: L'unità fissa sul lato sinistro presenta una configurazione a tre zone (152,4 mm ciascuna), fornendo una zona a temperatura costante estesa e consentendo la regolazione fine del profilo termico attraverso la sorgente del precursore.
  • Ambiente di lavorazione in quarzo ad alta purezza: Il tubo in quarzo fuso da 80 mm di diametro fornisce un ambiente pulito e chimicamente inerte per reazioni sensibili, supportando portate fino a 1000 sccm e pressioni fino a 0,4 bar.
  • Regolazione termica sofisticata: Dotato di controller FA-YD518P-AG, il sistema offre 30 segmenti programmabili per rampa, mantenimento e raffreddamento, con funzioni di auto-tuning integrate per mantenere una precisione di ±1°C.
  • Tecnologia di riscaldamento durevole: Elementi riscaldanti in lega Fe-Cr-Al di alta qualità, drogati con molibdeno, forniscono una temperatura di lavoro massima di 1200°C e un'eccellente resistenza all'ossidazione per una maggiore durata.
  • Capacità di integrazione del vuoto: Le flange per vuoto in acciaio inossidabile con manometri integrati sono standard, consentendo al sistema di raggiungere livelli di vuoto fino a 10E-5 torr se abbinato a una pompa molecolare.
  • Monitoraggio completo della sicurezza: Il sistema include allarmi integrati per sovratemperatura e guasto della termocoppia, garantendo la sicurezza dell'apparecchiatura e dell'operatore durante i cicli ad alta temperatura.

Applicazioni

Applicazione Descrizione Vantaggio chiave
Crescita di monostrati TMDC Sintesi di MoS2, WS2 e altri dicalcogenuri di metalli di transizione. Controllo preciso delle temperature di sublimazione rispetto alla deposizione per monostrati di alta qualità.
Sintesi di perovskite Deposizione da vapore di CsPbBr3 e altre perovskiti alogenure. Il controllo indipendente delle zone mantiene rapporti stechiometrici ideali attraverso la gestione della pressione di vapore.
Fabbricazione di grafene TCVD ad alta temperatura su catalizzatori metallici utilizzando precursori di carbonio. Il forno scorrevole consente una tempra rapida per controllare la dimensione dei grani e gli strati.
CVD di nanotubi di carbonio (CNT) Crescita mediata da catalizzatore di nanotubi a parete singola o multipla. L'erogazione di gas ad alto flusso e le zone di temperatura costanti garantiscono un allineamento uniforme.
Epitassia in fase vapore Crescita controllata di film sottili su substrati cristallini. Interferenza termica minima tra precursori e substrato di crescita.
Drogaggio di semiconduttori Diffusione di droganti in wafer semiconduttori sotto atmosfere controllate. Il controllo PID di precisione garantisce profili di drogaggio ripetibili su più lotti.
Sintesi di nanofili Crescita VLS (Vapor-Liquid-Solid) di nanofili semiconduttori e di ossido. Il raffreddamento rapido previene la crescita secondaria indesiderata o le trasformazioni di fase.

Specifiche tecniche

Categoria Specifica Valore parametro (TU-RT10)
Riferimento modello Sistema TU-RT10 Configurazione scorrevole a doppio forno
Forno scorrevole (destro) Modello forno OTF-1200X a zona singola
Distanza di scorrimento 300 mm
Zona di riscaldamento totale 440 mm
Zona a temp. costante 150 mm (±1 °C)
Temperatura massima 1200 °C (<1 ora); 1100 °C (continuo)
Forno fisso (sinistro) Modello forno OTF-1200X-III-C a tre zone
Lunghezze zona riscaldamento 152,4 mm + 152,4 mm + 152,4 mm (totale 450 mm)
Zona a temp. costante 200 mm (±1 °C)
Temperatura massima 1200 °C (<1 ora); 1100 °C (continuo)
Tubo di processo Materiale Quarzo fuso ad alta purezza
Dimensioni 80 mm D.E. x 72 mm D.I. x 1800 mm lunghezza
Pressione massima 0,4 bar (5,8 psi)
Portata massima 1000 sccm
Elementi riscaldanti Tipo Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
Controllo temperatura Precisione ±1 ºC (Eurotherm opzionale ±0,1°C)
Programmabilità 30 segmenti (rampa, raffreddamento, mantenimento)
Termocoppia Tipo K (quattro incluse)
Meccanismo di scorrimento Binari Doppi binari di scorrimento lineari (acciaio cromato)
Motore 208 – 240 VAC monofase, 200 W
Requisiti di alimentazione Forno scorrevole AC 208-240V monofase, 3 kW
Forno fisso AC 208-240V monofase, 4 kW
Vuoto e gas Flange per vuoto Acciaio inossidabile con manometro
Vuoto massimo 10E-5 torr (con pompa molecolare)
Conformità Standard Certificazione CE (NRTL/CSA disponibile)

Perché scegliere TU-RT10

  • Flessibilità termica superiore: La combinazione unica di un forno fisso a tre zone e un forno scorrevole a zona singola fornisce la piattaforma più versatile per processi CVD complessi disponibile sul mercato.
  • Affidabilità comprovata: Costruita con elementi riscaldanti in lega premium e un robusto sistema di scorrimento meccanico, questa apparecchiatura è progettata per la longevità e prestazioni costanti in ambienti di R&S intensivi.
  • Ingegneria di precisione: Con una precisione della temperatura mantenuta entro ±1°C e componenti di movimento lineare di alta qualità, gli utenti possono ottenere risultati altamente ripetibili per la sintesi di materiali sensibili.
  • Scalabile e personalizzabile: Il design modulare consente aggiornamenti ai controller Eurotherm per una precisione ancora maggiore e l'integrazione con sistemi di erogazione gas multicanale per soddisfare specifiche esigenze di ricerca.
  • Conformità completa: I nostri sistemi sono certificati CE e costruiti secondo gli standard di sicurezza internazionali, garantendo una facile integrazione in qualsiasi laboratorio professionale o struttura industriale.

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