Forno a scorrimento CVD a doppio tubo da 100 mm e 80 mm con sistema di miscelazione gas a 4 canali e sistema sottovuoto

Panoramica del prodotto

Questo sistema di trattamento termico ad alte prestazioni è progettato per applicazioni avanzate di deposizione chimica da vapore (CVD), specificamente ideato per facilitare la crescita di film sottili e grafene su lamine metalliche. Utilizzando un'esclusiva architettura a doppio tubo, l'apparecchiatura consente un controllo preciso dell'ambiente di reazione. Il valore principale del sistema risiede nella sua capacità di gestire la preparazione di elettrodi flessibili su substrati metallici, un requisito critico per la prossima generazione di ricerca sullo stoccaggio energetico e l'elettronica. Questa unità integra riscaldamento, erogazione di gas e controllo del vuoto in un'unica piattaforma coesa, garantendo flussi di lavoro semplificati per gli scienziati dei materiali.

L'apparecchiatura è particolarmente adatta per ambienti di ricerca e sviluppo industriali e laboratori accademici focalizzati su materiali bidimensionali e nanotecnologie. I suoi principali casi d'uso includono la produzione su larga scala di film di grafene e la sintesi di complesse nanostrutture che richiedono un rigoroso controllo dell'atmosfera. Questo sistema fornisce un ambiente versatile in cui i gas reattivi vengono dosati con precisione in uno stretto spazio di reazione di 10 mm tra tubi di quarzo concentrici, massimizzando l'efficienza dei precursori e l'uniformità del film. Il meccanismo di scorrimento migliora ulteriormente l'utilità dell'unità, consentendo un rapido ciclo termico essenziale per specifiche trasformazioni di fase e sperimentazioni ad alto rendimento.

Costruito con componenti di grado industriale, il forno offre un'affidabilità senza pari in condizioni impegnative. L'isolamento in allumina ad alta purezza e le robuste flange sottovuoto in acciaio inossidabile sono progettati per resistere al funzionamento continuo a temperature elevate. Ogni aspetto di questo sistema, dai controller di flusso di massa digitali alla stazione sottovuoto per impieghi gravosi, riflette un impegno verso l'ingegneria di precisione. I ricercatori possono fare affidamento su questa unità per risultati coerenti e riproducibili, sia che eseguano trattamenti termici di routine o complessi processi di sintesi CVD multistadio in atmosfera controllata.

Caratteristiche principali

• Architettura a doppio tubo concentrico: Il sistema impiega un tubo esterno da 100 mm di diametro e un tubo interno sospeso da 80 mm di diametro, creando un gap di reazione di 10 mm dove i substrati in lamina metallica possono essere avvolti per un'area superficiale CVD ottimale e un'interazione con i gas.
• Sistema di binari a scorrimento dinamico: Un binario a scorrimento per impieghi gravosi è integrato nella parte inferiore del forno, consentendo alla camera di riscaldamento di essere spostata rapidamente lontano dalla zona del campione. Ciò consente un rapido raffreddamento o velocità di riscaldamento elevate impossibili con i forni stazionari.
• Erogazione gas di precisione a 4 canali: La stazione di miscelazione gas integrata dispone di quattro controller di flusso di massa (MFC) digitali con intervalli variabili (da 100 a 500 SCCM), consentendo la miscelazione complessa di precursori e gas di trasporto con un'accuratezza di ±1% del fondo scala.
• Regolazione termica PID avanzata: L'apparecchiatura utilizza un sofisticato controller PID con 30 segmenti programmabili, fornendo un controllo meticoloso sulle velocità di riscaldamento, tempi di permanenza e curve di raffreddamento per mantenere una stabilità della temperatura di ±1°C.
• Monitoraggio integrato di vuoto e pressione: È inclusa una stazione sottovuoto completa, dotata di una pompa rotativa a palette a due stadi e un vacuometro digitale in grado di misurare da 10^-4 a 1000 Torr, garantendo un ambiente di reazione pulito e controllato.
• Robuste flange raffreddate ad acqua: Le flange in acciaio inossidabile 304 sono dotate di camicie di raffreddamento ad acqua integrate, che proteggono le guarnizioni ad alto vuoto e garantiscono l'integrità strutturale durante operazioni prolungate ad alta temperatura.
• Isolamento termico ottimizzato: La camera di riscaldamento è costruita con isolamento fibroso in Al2O3 ad alta purezza, che riduce al minimo la perdita di calore e fornisce un'eccellente uniformità di temperatura attraverso l'intera zona di riscaldamento costante.
• Configurazioni di riscaldamento scalabili: Disponibile in configurazioni a zona di riscaldamento singola e doppia, il sistema consente il controllo indipendente dei gradienti di temperatura, essenziale per il trasporto di precursori o la gestione di reazioni multistadio.
• Sicurezza e automazione: Gli allarmi di sovratemperatura integrati e le funzioni di protezione automatica consentono al sistema di operare in sicurezza senza supervisione costante, aumentando l'efficienza del laboratorio e riducendo il rischio operativo.
• Connettività industriale Swagelok: Tutti gli ingressi e le uscite del gas utilizzano connettori per tubi Swagelok da 1/4", garantendo prestazioni prive di perdite e compatibilità con le infrastrutture standard di gestione del gas industriale.

Applicazioni

Specifiche tecniche

Perché scegliere TU-RT12

• Ingegneria superiore per la ricerca sul grafene: Il design a doppio tubo è specificamente ottimizzato per l'avvolgimento di lamine in stile roll-to-roll, fornendo la configurazione più efficiente per la sintesi di grafene su ampia area e materiali 2D disponibile su scala di laboratorio.
• Agilità termica senza pari: Il design del forno a scorrimento offre ai ricercatori la capacità critica di ottenere velocità di raffreddamento ultra-rapide o di far transitare istantaneamente i campioni tra le zone di temperatura, il che è vitale per controllare la crescita dei grani e la purezza di fase.
• Integrazione chiavi in mano di gas e vuoto: A differenza delle configurazioni modulari che richiedono un assemblaggio esteso, questo sistema arriva con una stazione MFC a 4 canali completamente integrata e una stazione di pompa per vuoto corrispondente, garantendo il controllo dell'atmosfera ad alta purezza fin dal primo giorno.
• Costruito per un uso industriale a lungo termine: Dal carrello mobile per impieghi gravosi alle flange in acciaio inossidabile di alta qualità e all'isolamento in Al2O3, ogni componente è selezionato per la durata e le prestazioni costanti in ambienti di R&S ad alto ciclo di lavoro.
• Precisione e personalizzabilità: Con opzioni per il controllo a zona singola o doppia e la possibilità di integrare controller Eurotherm o configurazioni di gas personalizzate, questo sistema può essere adattato ai requisiti esatti del vostro specifico processo CVD.

Contatta THERMUNITS oggi stesso per una consulenza tecnica o per ricevere un preventivo formale per i requisiti di trattamento termico personalizzati del tuo laboratorio.