Forno a tubo scorrevole da 1200°C per elaborazione termica rapida e crescita di grafene CVD con capacità di 100 mm di diametro esterno

Forno RTP

Forno a tubo scorrevole da 1200°C per elaborazione termica rapida e crescita di grafene CVD con capacità di 100 mm di diametro esterno

Numero articolo: TU-RT14

Temperatura massima: 1200°C Intervallo di velocità di scorrimento: 10-100 mm/s Lunghezza della zona di riscaldamento: 400 mm
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Panoramica del prodotto

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Questo sistema di elaborazione termica ad alte prestazioni è progettato per la ricerca avanzata nella scienza dei materiali, specificamente concepito per soddisfare i rigorosi requisiti dell'elaborazione termica rapida (RTP) e della deposizione chimica da vapore (CVD). Integrando un meccanismo di scorrimento motorizzato con un forno a tubo ad alta temperatura, l'apparecchiatura consente transizioni istantanee tra le zone di riscaldamento e raffreddamento. Questa capacità è essenziale per i ricercatori che lavorano sulla crescita di film sottili, sul drogaggio dei semiconduttori e sulla sintesi di nanostrutture ad alta purezza, dove la storia termica precisa è critica per le proprietà finali del materiale.

Ottimizzato per versatilità e scalabilità, il sistema è una scelta primaria per i laboratori specializzati nella crescita CVD di grafene, nanotubi di carbonio e altri materiali bidimensionali. Il design del binario scorrevole facilita velocità di riscaldamento e tempra ultra-rapide, spesso impossibili da ottenere con configurazioni di forno stazionarie. Questa unità fornisce l'agilità necessaria per esplorare nuove fasi dei materiali e ottimizzare i parametri di crescita con elevata riproducibilità in varie condizioni atmosferiche, inclusi ambienti sottovuoto e a bassa pressione.

Costruita con componenti di grado industriale e focalizzata sull'affidabilità a lungo termine, l'apparecchiatura garantisce prestazioni costanti anche sotto programmi di R&S impegnativi. La robusta struttura meccanica, combinata con una logica PLC avanzata, fornisce una piattaforma stabile per cicli termici complessi. Che venga utilizzato nella ricerca accademica o nello sviluppo di prodotti industriali, questo sistema offre la precisione, le caratteristiche di sicurezza e l'integrità strutturale necessarie per guidare l'innovazione nell'elaborazione di materiali ad alta temperatura e nell'ingegneria dei semiconduttori.

Caratteristiche principali

  • Meccanismo di scorrimento motorizzato di precisione: Il sistema è dotato di un binario scorrevole ad alta precisione che consente al corpo del forno di muoversi rapidamente lungo l'asse del tubo. Ciò consente al campione di rimanere stazionario mentre l'ambiente termico cambia istantaneamente, facilitando velocità di raffreddamento fino a 3°C al secondo e imitando i processi di ricottura termica rapida su scala industriale.
  • PLC avanzato e interfaccia touch screen: Un sofisticato Programmable Logic Controller (PLC) con un'intuitiva interfaccia touch screen gestisce tutti i parametri operativi. Gli utenti possono regolare facilmente le velocità di scorrimento, impostare sequenze di movimento automatizzate e sincronizzare il movimento del forno con specifici segmenti del programma di temperatura per un funzionamento completamente automatico.
  • Elaborazione termica rapida (RTP) ottimizzata: Progettata specificamente per applicazioni RTP, l'unità può raggiungere una velocità di riscaldamento massima di 10°C/min e una tempra eccezionalmente rapida. La capacità di far scorrere la zona riscaldata lontano dall'area del campione consente un raffreddamento rapido da 500°C a 100°C a velocità fino a 3°C/s, fondamentale per preservare le fasi metastabili nelle leghe avanzate.
  • Capacità di crescita CVD integrate: Il controllo termico e atmosferico del sistema lo rende una piattaforma ideale per la crescita CVD di grafene e nanotubi di carbonio. Il controllo preciso del flusso di gas, l'uniformità della temperatura all'interno della zona di riscaldamento da 400 mm e i tempi di ciclo rapidi migliorano significativamente il rendimento e la qualità della sintesi dei nanomateriali.
  • Robusta tenuta sottovuoto e atmosferica: Dotata di flange sottovuoto in acciaio inossidabile con doppi O-ring e compressione filettata, l'apparecchiatura mantiene un'elevata integrità del vuoto. Supporta livelli di vuoto fino a 10^-5 torr (con pompa molecolare), rendendola adatta a processi sensibili all'ossigeno e al controllo di atmosfere ad alta purezza.
  • Doppio controllo della temperatura PID: Il sistema di gestione termica utilizza due controller PID automatici con 50 segmenti programmabili. Ciò garantisce una precisione di ±1°C e previene il superamento della temperatura, proteggendo i campioni sensibili e garantendo la ripetibilità dei risultati sperimentali attraverso vari tempi di sosta e rampe di salita.
  • Protezioni di sicurezza complete: L'eccellenza ingegneristica si riflette nei protocolli di sicurezza integrati, inclusa la protezione dal surriscaldamento e gli avvisi di rottura della termocoppia. L'intervallo di scorrimento meccanico è regolato da precisi finecorsa per prevenire interferenze hardware, garantendo un funzionamento sicuro durante i movimenti ad alta velocità.
  • Supporto per configurazione a tubo flessibile: Il forno è progettato per ospitare un'ampia gamma di diametri di tubi al quarzo, da 25 mm a 100 mm di diametro esterno. Questa flessibilità consente ai ricercatori di scalare i propri esperimenti da test di fattibilità su piccoli campioni a processi batch su scala più ampia senza modificare l'unità termica principale.
  • Registrazione dati avanzata e connettività PC: Per un'analisi dettagliata del processo, l'apparecchiatura include una porta di comunicazione PC DB9 e un modulo di controllo MTS-02. Ciò consente il monitoraggio remoto, l'acquisizione dati e la programmazione di profili complessi tramite un computer collegato, essenziale per documentare le iterazioni di R&S.

Applicazioni

Applicazione Descrizione Vantaggio chiave
Sintesi del grafene Crescita di grafene su ampia area su fogli di rame o nichel utilizzando tecniche CVD. Il raffreddamento rapido preserva la qualità del monostrato e previene la formazione di multistrato.
Nanotubi di carbonio (CNT) Crescita controllata di CNT a parete singola e multipla su vari substrati. Le rampe termiche precise assicurano un diametro del tubo uniforme e una sintesi ad alta resa.
Ricottura termica rapida Ricottura post-deposizione di wafer semiconduttori per attivare i droganti o riparare i danni al cristallo. Il meccanismo di scorrimento ad alta velocità fornisce la necessaria tempra termica rapida.
Deposizione di film sottili Creazione di film sottili funzionali per celle solari o sensori elettronici. La gestione del gas integrata e il controllo del vuoto forniscono ambienti per film ad alta purezza.
Studi di trasformazione di fase Indagare la cinetica dei cambiamenti di fase dei materiali sotto riscaldamento e raffreddamento controllati. Lo scorrimento rapido consente il congelamento immediato delle microstrutture ad alta temperatura.
Drogaggio dei semiconduttori Diffusione ad alta temperatura di impurità nei substrati semiconduttori. La zona di riscaldamento uniforme da 400 mm garantisce profili di drogaggio coerenti su tutto il campione.
Tempra dei materiali Test della risposta al trattamento termico di leghe avanzate e ceramiche. Raggiunge velocità di raffreddamento paragonabili agli oli di tempra specializzati senza contaminazione.

Specifiche tecniche

Gruppo parametri Dettaglio specifica Valore / Intervallo
Identificazione modello Numero articolo prodotto TU-RT14
Alimentazione elettrica Tensione in ingresso AC 208-240V, Monofase, 50/60 Hz
Potenza nominale 3 kW
Prestazioni termiche Temperatura massima 1200°C (per < 0,5 ore)
Temperatura di lavoro continua 1100°C o inferiore
Velocità di riscaldamento consigliata ≤ 10°C/min
Velocità di riscaldamento max (Area campione sinistra) 3°C/s
Velocità di raffreddamento rapido (500-100°C) 3°C/s
Velocità di raffreddamento rapido (500-200°C) 0,7°C/s
Zona di riscaldamento Lunghezza zona di riscaldamento 400 mm
Tipo di termocoppia Tipo K
Caratteristiche meccaniche Distanza di scorrimento 400 mm (Standard, personalizzabile)
Intervallo di velocità regolabile 10-100 mm/s (Standard, personalizzabile)
Controllo del movimento Scorrimento avanti e indietro automatizzato/programmabile
Controllo temperatura Tipo di controller Doppio PID con 50 segmenti programmabili
Precisione ± 1 ºC
Sistemi di protezione Protezione da surriscaldamento e rottura termocoppia
Interfaccia di comunicazione Porta PC DB9 (modulo MTS-02 incluso)
Vuoto e atmosfera Materiale flangia Acciaio inossidabile con guarnizioni a doppio O-ring
Interfaccia vuoto Sinistra: KF25, valvola a spillo, porta di sfiato a barb
Ingresso/Manometro Destra: Valvola a spillo, ingresso G1/4, manometro meccanico
Livello di vuoto (Pompa meccanica) ~10^-2 Torr
Livello di vuoto (Pompa molecolare) ~10^-5 Torr
Opzioni tubo al quarzo Lunghezza standard 1400 mm
Varianti di diametro (D.E.) 25mm, 50mm, 60mm, 80mm, 100mm
Conformità Standard Certificazione CE (NRTL/UL61010 disponibile)

Perché scegliere questo forno a tubo scorrevole

  • Affidabilità ingegneristica comprovata: Costruito per gli ambienti di R&S più esigenti, il forno utilizza elementi riscaldanti di alta qualità e un sistema di binari motorizzati rinforzato, garantendo migliaia di cicli senza degrado nella precisione o nelle prestazioni.
  • Agilità termica superiore: A differenza dei forni a tubo standard che si basano sul lento raffreddamento per convezione naturale, il design scorrevole di questo sistema fornisce lo shock termico e le capacità di tempra rapida necessarie per l'ingegneria dei materiali all'avanguardia e la ricerca sui semiconduttori.
  • Logica di controllo completamente integrata: L'integrazione perfetta tra i controller di temperatura PID e il sistema di movimento PLC consente ricette complesse a più stadi che altrimenti richiederebbero un intervento manuale con il rischio di errore umano.
  • Versatilità senza pari: Dalla crescita di grafene CVD alla ricottura termica rapida, l'apparecchiatura supporta una vasta gamma di configurazioni sperimentali con la sua ampia gamma di diametri di tubo e l'elevata compatibilità con il vuoto, rendendolo un investimento a prova di futuro per qualsiasi laboratorio.
  • Conformità e supporto globale: Con la certificazione CE e l'opzione per aggiornamenti NRTL/CSA, la nostra apparecchiatura soddisfa i più rigorosi standard di sicurezza per istituti di ricerca internazionali e strutture industriali, supportata dal nostro team di assistenza tecnica reattivo.

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