Forno RTP
Forno a Tubo 1200°C con Scorrimento Campione Magnetico Interno per Deposizione per Vaporizzazione Diretta e Processo Termico Rapido
Numero articolo: TU-RT02
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Panoramica del Prodotto

Questo sistema di trattamento termico ad alta precisione è progettato per la ricerca avanzata nella scienza dei materiali, rivolgendosi specificamente alle complesse esigenze della Deposizione per Vaporizzazione Diretta (DVD) e del Processo Termico Rapido (RTP). Integrando un meccanismo manuale di scorrimento magnetico del campione, l'attrezzatura consente il posizionamento preciso dei campioni all'interno della zona di riscaldamento senza compromettere il vuoto o l'integrità atmosferica del processo. Questa capacità è essenziale per i ricercatori che lavorano con materiali 2D, deposizione di film sottili e ricottura termica, dove le fasi di temperatura transitoria devono essere controllate con estrema precisione.
L'attrezzatura è progettata per operare a temperature fino a 1200°C, fornendo una piattaforma robusta per la sintesi ad alta temperatura e la R&D industriale. Il suo design compatto a tubo da 2 pollici lo rende ideale per ambienti di laboratorio che richiedono alte prestazioni in uno spazio limitato. I settori target includono la produzione di semiconduttori, la nanotecnologia e le ceramiche avanzate, dove la capacità di manipolare la posizione del campione rispetto a un gradiente termico stabile è un fattore critico per ottenere risultati sperimentali ripetibili.
Costruito con componenti di livello industriale e un focus sull'affidabilità a lungo termine, questa unità garantisce prestazioni costanti in condizioni impegnative. La combinazione di un porta-campioni in allumina ad alta conducibilità, un monitor di temperatura certificato NIST e un sofisticato sistema di controllo PID fornisce agli operatori la fiducia necessaria per la crescita di materiali sensibili. Sia utilizzato per la sintesi in atmosfera controllata che in ambiente ad alto vuoto, il sistema offre la stabilità termica e la precisione meccanica necessarie per le moderne workflow di caratterizzazione e produzione dei materiali.
Caratteristiche Principali
- Sistema di Movimento Campione Magnetico Innovativo: Il sistema utilizza un meccanismo di movimento interno azionato da magneti esterni, che consente al porta-campioni di muoversi agevolmente attraverso la zona di riscaldamento. Ciò permette un controllo preciso sui tassi di deposizione e sull'esposizione termica senza rompere la tenuta del vuoto.
- Porta-campioni in Allumina ad Alta Conducibilità: L'attrezzatura è dotata di un porta-campioni piatto progettato per un contatto termico ottimale, garantendo che la temperatura monitorata tramite la termocoppia integrata di tipo K rifletta con alta fedeltà lo stato effettivo del campione.
- Monitoraggio di Precisione Certificato NIST: Ogni unità è equipaggiata con un monitor di temperatura di precisione certificato NIST, collegato tramite un passacavo per vuoto dedicato, fornendo un ulteriore livello di verifica per la ricerca mission-critical e la conformità.
- Controllo PID Programmabile Avanzato a 30 Segmenti: Il controllore di temperatura consente profili termici complessi, inclusi cicli di rampa, mantenimento e raffreddamento, con protezioni integrate contro sovratemperature e guasti della termocoppia per salvaguardare l'attrezzatura.
- Flessibilità Atmosferica a Doppia Zona: Progettato per operare sotto vuoto o atmosfere a bassa pressione, il sistema è compatibile con vari gas, rendendolo versatile per processi CVD, DVD e altri processi chimici a vapore.
- Composizione Robusta degli Elementi Riscaldanti: Utilizzando elementi riscaldanti in lega Fe-Cr-Al di alta qualità drogata con Molibdeno, sono progettati per una lunga durata ad alta temperatura e tempi di risposta rapidi, mantenendo una temperatura massima di 1200°C.
- Isolamento Termico Ottimizzato: Vengono utilizzati blocchi tubolari in ceramica fibrosa ad alta purezza per minimizzare la radiazione termica verso le flange del vuoto, proteggendo le guarnizioni e garantendo un profilo di temperatura stabile all'interno della zona di lavoro.
- Integrazione Modulare del Vuoto: La porta per vuoto standard KF25 e i raccordi a innesto da 1/4" consentono una rapida integrazione con pompe meccaniche o turbo, facilitando l'evacuazione rapida e ambienti di processo puliti.
Applicazioni
| Applicazione | Descrizione | Vantaggio Chiave |
|---|---|---|
| Crescita Materiali 2D | Sintesi di Grafene, MoS2 e altri dicalcogenuri di metalli di transizione utilizzando deposizione di vapore controllata. | Il movimento preciso del campione consente tassi di nucleazione e crescita specifici. |
| Processo Termico Rapido | Sottoporre wafer di semiconduttori a rapidi cicli di riscaldamento e raffreddamento per attivare droganti o modificare le proprietà del film. | Lo scorrimento azionato magneticamente permette una transizione rapida tra zone calde e fredde. |
| Deposizione per Vaporizzazione Diretta | Vaporizzazione di precursori solidi ad alto calore e loro deposizione su un substrato posizionato su un gradiente più freddo. | Il posizionamento accurato del campione all'interno del gradiente termico ottimizza la qualità del film. |
| Ricottura di Film Sottili | Trattamento termico post-deposizione di film sottili per migliorare la cristallinità e le proprietà elettriche. | Il controllo PID costante garantisce una struttura cristallina uniforme su tutto il substrato. |
| Ricerca sui Catalizzatori | Test e attivazione di materiali catalitici sotto varie atmosfere gassose e alte temperature. | L'alto vuoto e il controllo dell'atmosfera consentono ambienti di reazione puliti e ripetibili. |
| Sinterizzazione Ceramica | Processo ad alta temperatura di componenti o polveri ceramiche in scala ridotta. | La capacità stabile a 1200°C fornisce il calore necessario per la formazione di materiale denso. |
Specifiche Tecniche
| Categoria Specifica | Dettagli Parametro (TU-RT02) |
|---|---|
| Identificativo Modello | TU-RT02 |
| Alimentazione Elettrica | 110VAC o 208-240 VAC, 50/60Hz (1.5 KW) |
| Temperatura Massima | 1200°C (< 1 ora di durata) |
| Temperatura Continua | 1100°C |
| Velocità di Riscaldamento | ≤ 20°C al minuto |
| Lunghezza Zona Riscaldamento | 8" (200mm) Zona Singola |
| Zona a Temperatura Costante | 2.3" (60mm) entro ±1°C @ 1000°C |
| Controllore Temperatura | Controllo automatico PID, programmabile a 30 step, azionamento SSR |
| Accuratezza Temperatura | ± 1°C |
| Elementi Riscaldanti | Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo |
| Tubo di Processo | Quarzo ad alta purezza; 50mm D.E. x 44mm D.I. x 1000mm L |
| Porta-campioni | Porta-campioni Piatto in Allumina (2" L x 1" W) con Termocoppia di tipo K |
| Meccanismo di Movimento | Meccanismo di scorrimento manuale magnetico con accoppiamento magnete interno/esterno |
| Flange per Vuoto | Acciaio Inossidabile da 2" con porta KF25, raccordi a innesto da 1/4" e passacavo da 1/4" |
| Livello di Vuoto | 10^-2 torr tramite pompa meccanica standard |
| Conformità | Certificato CE (NRTL/CSA disponibile su richiesta) |
| Dimensioni & Sicurezza | Include protezione integrata da sovratemperatura e allarmi per guasto termocoppia |
Perché Sceglierci
Investire in questo sistema di trattamento termico garantisce che la vostra struttura sia equipaggiata con uno strumento progettato per le esigenze della moderna nanotecnologia e della sintesi dei materiali. Il vantaggio principale del meccanismo di movimento interno è l'eliminazione della necessità di interrompere il vuoto durante la traslazione del campione, il che aumenta drasticamente la produttività degli esperimenti e previene la contaminazione del campione. Il nostro team di ingegneria ha dato priorità alla precisione termica, utilizzando componenti certificati NIST per garantire che i dati raccolti siano sia accurati che pubblicabili.
Oltre alle specifiche tecniche, questo forno è costruito per la longevità. La combinazione di quarzo di alta qualità, elementi in lega drogata con molibdeno e robuste flange in acciaio inossidabile garantisce che il sistema mantenga le sue prestazioni per anni di funzionamento continuo. Inoltre, la natura modulare delle porte per vuoto e per l'erogazione dei gas consente una futura scalabilità, sia che si stia aggiungendo mixer di gas multicanale che moduli di controllo avanzati basati su PC. Scegliere questa attrezzatura significa scegliere un partner per la vostra ricerca, supportato da un impegno verso l'eccellenza tecnica e un supporto clienti reattivo.
Contattate oggi il nostro team di vendite tecniche per un preventivo completo o per discutere una soluzione personalizzata su misura per le vostre specifiche esigenze di processo.
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