Forno tubolare
Forno a tubo diviso a tre zone da 1200°C con lunghezza di riscaldamento 18 pollici e flange per vuoto
Numero articolo: TU-33
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Panoramica del prodotto


Questo forno a tubo diviso a tre zone di grado industriale è progettato per la lavorazione termica ad alta precisione in ambienti di scienza dei materiali e ricerca avanzata. Progettato per facilitare la ricottura, la diffusione e la sinterizzazione dei campioni, l'apparecchiatura offre una piattaforma versatile per trattamenti in atmosfere multiple fino a 1200°C. La camera di riscaldamento apribile consente un raffreddamento rapido e un facile caricamento dei campioni, rendendolo uno strumento indispensabile per i laboratori che richiedono sia un elevato rendimento che profili termici rigorosi. La sua costruzione robusta garantisce stabilità operativa a lungo termine anche in cicli di lavoro intensi.
Il punto di forza di questo sistema risiede nella sua configurazione di riscaldamento a tre zone, che consente di creare gradienti di temperatura precisi o mantenere una zona di riscaldamento uniforme eccezionalmente lunga su una campata di 18 pollici. Questa capacità è fondamentale per processi di deposizione chimica da vapore (CVD), crescita di cristalli e trattamenti termici complessi, dove l'uniformità termica o specifici step di temperatura sono obbligatori. Pur avendo un ingombro contenuto senza compromettere le prestazioni, l'unità rappresenta una soluzione ad alta efficienza per la ricerca sui semiconduttori, la lavorazione della ceramica e l'analisi metallurgica.
L'affidabilità è un elemento fondamentale nella progettazione di questa unità di lavorazione termica. Costruito con una custodia in acciaio a doppio strato per impieghi gravosi e sistemi di raffreddamento integrati, l'apparecchiatura mantiene una bassa temperatura superficiale esterna anche durante il funzionamento prolungato ad alta temperatura. L'integrazione di isolamento in fibra di allumina ad alta purezza e elementi riscaldanti drogati al molibdeno garantisce un'eccellente efficienza termica e tempi di risposta rapidi. I team di approvvigionamento possono scegliere questo sistema con sicurezza, sapendo che è progettato per soddisfare i severi standard della moderna R&S industriale, fornendo risultati costanti e ripetibili anno dopo anno.
Caratteristiche principali
- Controllo della temperatura indipendente a tre zone: La camera di riscaldamento è divisa in tre zone distinte (6" ciascuna), ognuna controllata da un proprio regolatore PID dedicato a microprocessore. Questo consente di creare gradienti termici precisi o una zona di temperatura uniforme molto stabile fino a 200 mm, offrendo una flessibilità senza pari per esperimenti atmosferici complessi.
- Architettura di camera apribile: Il forno è dotato di un design a coperchio apribile incernierato che consente un facile accesso al tubo di processo. Questa architettura non solo semplifica l'installazione di termocoppie e il caricamento dei campioni, ma permette anche un raffreddamento rapido del tubo al termine del processo, riducendo significativamente i tempi di ciclo.
- Sistema avanzato di interblocco di sicurezza: Sensori di sicurezza integrati interrompono automaticamente l'alimentazione degli elementi riscaldanti ogni volta che il coperchio del forno viene aperto. Questo meccanismo di protezione previene l'esposizione accidentale a componenti ad alta tensione e protegge l'operatore dal calore radiante durante l'accesso necessario alla camera.
- Regolazione PID di precisione: Ognuno dei tre regolatori offre 30 segmenti programmabili per sofisticati profili di salita e mantenimento della temperatura. La funzione PID di autotaratura garantisce una precisione della temperatura entro ±1°C, eliminando l'overshoot e fornendo la stabilità termica richiesta per la sintesi di materiali sensibili.
- Elementi riscaldanti ad alte prestazioni: Gli elementi riscaldanti, realizzati in lega Fe-Cr-Al drogato con molibdeno, sono progettati per lunga durata e rapida risposta termica. Questi elementi sono posizionati strategicamente per fornire il massimo trasferimento di calore radiante al tubo di processo, resistendo inoltre all'ossidazione a temperature fino a 1200°C.
- Raffreddamento ad aria forzata a doppio strato: La carcassa del forno è costruita con una custodia in acciaio a doppio strato. Ventole di raffreddamento integrate fanno circolare l'aria tra gli strati, garantendo che il guscio esterno rimanga sicuro al tatto e proteggendo l'elettronica interna dal degrado indotto dal calore.
- Gestione versatile del vuoto e dei gas: Il sistema è dotato di serie di flange per vuoto in acciaio inox 304 con doppie guarnizioni O in silicone resistente alle alte temperature. Queste flange supportano livelli di vuoto fino a 10E-5 torr (con pompa turbo) e includono valvole a ago e manometri integrati per un controllo preciso dell'atmosfera.
- Isolamento termico di alta qualità: L'interno del forno è rivestito da isolamento fibroso di allumina ad alta purezza. Questo materiale è scelto per la sua bassa massa termica e le eccezionali proprietà isolanti, che riducono significativamente il consumo energetico e consentono velocità di riscaldamento più elevate fino a 20°C/min.
- Comunicazione digitale e integrazione con PC: Ogni unità è dotata di una porta di comunicazione RS485, che consente il monitoraggio remoto e la registrazione dei dati. Pacchetti software opzionali permettono agli utenti di gestire le ricette di trattamento termico e registrare dati in tempo reale da una postazione di lavoro computerizzata centrale.
- Diametri del tubo personalizzabili: Per adattarsi a diverse dimensioni di campione e requisiti di produttività, il sistema è compatibile con tubi di quarzo di diametro esterno 60mm, 80mm e 100mm. Ogni configurazione include blocchi in ceramica abbinati per minimizzare la radiazione di calore e proteggere le guarnizioni delle flange.
Applicazioni
| Applicazione | Descrizione | Vantaggio chiave |
|---|---|---|
| Diffusione per semiconduttori | Drogatura di wafer di silicio e altri substrati semiconduttori a temperature controllate. | Il controllo preciso a 3 zone garantisce una distribuzione uniforme del drogante su tutto il campione. |
| CVD / PECVD | Crescita di film sottili e nanostrutture come nanotubi di carbonio o grafene. | L'eccezionale controllo del gradiente permette di ottenere temperature specifiche per la cracking dei precursori e la deposizione. |
| Ricottura di materiali | Rilascio delle tensioni interne in metalli e leghe tramite cicli controllati di riscaldamento e raffreddamento. | Il design di camera apribile consente le velocità di raffreddamento rapide richieste per la formazione di microstrutture specifiche. |
| Sinterizzazione di ceramiche | Consolidamento di compatti di polvere ceramica in componenti funzionali densi. | L'elevata precisione di temperatura di ±1°C previene la crescita dei grani e garantisce una densità costante. |
| Ricerca in atmosfera controllata | Test delle reazioni dei materiali in condizioni di vuoto o specifici ambienti con gas inerte/riducente. | Le flange per vuoto ad alta integrità e i manometri integrati consentono di ottenere condizioni atmosferiche ripetibili. |
| Calibrazione di tubi | Utilizzo delle tre zone per calibrare sensori termici o termocoppie rispetto a un gradiente noto. | L'ampio intervallo di temperatura e il controllo localizzato delle zone forniscono un ambiente stabile per la calibrazione. |
| R&S su materiali per batterie | Lavorazione termica di polveri di catodi e anodi in ambienti inerti. | Mantiene la purezza e previene l'ossidazione durante le fasi critiche di calcinazione. |
Specifiche tecniche
Configurazione del sistema e dati elettrici
| Parametro | Specifica (Modello TU-33) |
|---|---|
| Codice articolo | TU-33 |
| Tensione nominale | AC 208-240V Monofase, 50/60 Hz |
| Consumo massimo di potenza | 4,0 KW |
| Elementi riscaldanti | Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo |
| Tipo di termocoppia | Tipo K (3 unità, una per zona) |
| Conformità | Certificato CE (pronto per UL / NRTL disponibile su richiesta) |
Prestazioni termiche
| Parametro | Specifica |
|---|---|
| Temperatura massima di riscaldamento | 1200°C (con flusso di gas) |
| Temperatura di riscaldamento continuo | 1100°C (con flusso di gas) |
| Temperatura massima (in vuoto) | 1000°C |
| Lunghezza totale della zona di riscaldamento | 450 mm (18") |
| Lunghezza delle singole zone | Zona 1: 152,4mm / Zona 2: 152,4mm / Zona 3: 152,4mm |
| Zona a temperatura costante (±1ºC) | 200 mm |
| Gradiente di temperatura massimo | ~100 ºC/cm a 1200°C centrali |
| Velocità massima di riscaldamento | 20°C / min |
| Precisione della temperatura | ±1°C |
Varianti di tubo e flangia
| Caratteristica | TU-33-60 | TU-33-80 | TU-33-100 |
|---|---|---|---|
| Materiale del tubo | Quarzo fuso | Quarzo fuso | Quarzo fuso |
| Dimensioni tubo (D.E x L) | 60 mm x 1000 mm | 80 mm x 1000 mm | 100 mm x 1000 mm |
| Diametro interno (D.I) | 55 mm | 72 mm | 92 mm |
| Tipo di flangia | Flangia per vuoto SS304 | Flangia per vuoto SS304 | Flangia per vuoto SS304 |
| Porta per vuoto | KF25 | KF25 | KF25 |
| Blocchi termici inclusi | 2x Fibra di allumina | 2x Fibra di allumina | 2x Fibra di allumina |
Sistemi di controllo e interfaccia
| Parametro | Regolatore standard | Aggiornamento opzionale Eurotherm |
|---|---|---|
| Segmenti | 30 segmenti programmabili | 8 o 24 segmenti (basati su ricetta) |
| Autotaratura PID | Inclusa | Inclusa |
| Precisione | ±1,0ºC | ±0,1ºC |
| Comunicazione | RS485 | RS485 |
| Allarmi | Surriscaldamento e T/C guasta | Relè multi-stadio (Forma A/C) |
| Compatibilità software | Basato su MTS02 Labview | Strumenti di gestione ricette per PC |
Perché scegliere noi
Investire in questo forno a tubo diviso a tre zone garantisce che il tuo laboratorio sia equipaggiato con un sistema termico ad alte prestazioni progettato per precisione e durabilità. A differenza dei forni monozona standard, questo sistema offre la modularità necessaria per condurre esperimenti atmosferici complessi e sintesi basate su gradiente con estrema precisione. Il design a coperchio apribile migliora significativamente la produttività del laboratorio, consentendo un raffreddamento rapido e una facile manutenzione del tubo di processo in quarzo.
- Ingegneria termica superiore: L'uso di allumina fibrosa ad alta purezza e speciali elementi riscaldanti drogati al molibdeno garantisce cicli termici rapidi senza compromettere l'integrità strutturale del forno.
- Progettazione orientata alla sicurezza: Con componenti pronti per UL, certificazione CE e protezione a interblocco integrata, questa unità soddisfa i severi requisiti di sicurezza delle strutture di ricerca industriali e accademiche.
- Controllo preciso dell'atmosfera: Le flange per vuoto SS304 incluse e la possibilità di funzionare con flusso di gas o alto vuoto rendono questa piattaforma veramente versatile per diverse applicazioni di ricerca sui materiali.
- Affidabilità a lungo termine: Ogni sistema è testato per stabilità della temperatura e integrità del vuoto prima della spedizione, garantendo che la tua attrezzatura arrivi pronta per un servizio immediato e per impieghi gravosi.
- Personalizzabile per il tuo flusso di lavoro: Dall'aggiornamento con pompa molecolare digitale al controllo remoto da PC e al software di registrazione dati, questo sistema può essere adattato per soddisfare le tue specifiche esigenze di ricerca o produzione.
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