Forno tubolare
Forno a tubo diviso a sette zone ad alta temperatura con funzionamento massimo a 1200°C e tubo in quarzo di grande diametro
Numero articolo: TU-87
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Panoramica del prodotto
Questo sistema di trattamento termico ad alte prestazioni è progettato per ambienti di ricerca su scala industriale e di produzione pilota in cui gradienti di temperatura precisi e volumi di riscaldamento estesi sono fondamentali. Utilizzando un'esclusiva architettura di riscaldamento a sette zone, l'apparecchiatura consente la creazione di una zona a temperatura uniforme eccezionalmente lunga e stabile, rendendola ideale per la sintesi di materiali in grandi lotti, la lavorazione di semiconduttori e complesse applicazioni di deposizione chimica da vapore (CVD). Il design divisibile offre un accesso senza precedenti alla camera di lavorazione, facilitando la facile configurazione di campioni pesanti o delicati all'interno dell'ambiente ad alta purezza.
Il sistema è progettato per la versatilità, supportando livelli di vuoto da 10-2 a 10-5 torr e varie atmosfere gassose. Serve come pietra miliare per laboratori di scienza dei materiali avanzati, dipartimenti di metallurgia e strutture di produzione ad alta tecnologia che richiedono risultati coerenti e ripetibili su ampie aree di lavorazione. Che venga utilizzato per processi di ricottura, sinterizzazione o rivestimento, questa unità offre la stabilità termica richiesta dai moderni standard di ingegneria dei materiali.
L'affidabilità è al centro della costruzione di questo forno. Dotata di un involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento a ventola attiva e isolamento in allumina fibrosa ad alta purezza, l'apparecchiatura mantiene basse temperature esterne garantendo al contempo la massima efficienza energetica. L'inclusione di coperture superiori azionate da cilindri elettrici garantisce un funzionamento fluido e sicuro anche in contesti industriali ad alto rendimento, offrendo agli operatori la sicurezza di gestire cicli termici impegnativi senza compromettere la sicurezza o l'integrità delle prestazioni.
Caratteristiche principali
- Controllo della temperatura indipendente a sette zone: Questo sistema utilizza sette zone di riscaldamento separate, ciascuna controllata dal proprio controller PID digitale dedicato, consentendo la gestione precisa dei gradienti termici o il mantenimento di una massiccia zona a temperatura uniforme di 1350 mm entro ±2ºC.
- Design diviso con cilindro elettrico: La copertura superiore divisa è azionata da cilindri elettrici per impieghi gravosi, che forniscono un'apertura e una chiusura fluide e automatizzate. Questo design consente un raffreddamento rapido, una facile sostituzione del tubo e un caricamento semplificato dei campioni senza la necessità di sollevamento manuale.
- Elementi riscaldanti di precisione: Gli elementi termici ad alte prestazioni sono posizionati strategicamente in tutte e sette le zone per fornire velocità di riscaldamento rapide fino a 10°C/min e una temperatura operativa massima di 1200°C per processi a breve termine.
- Controllo atmosferico avanzato: Dotato di un tubo in quarzo con diametro interno grande da 8 pollici e flange sottovuoto in acciaio inossidabile con doppi O-ring in silicone ad alta temperatura, il sistema garantisce una tenuta ermetica per la lavorazione sottovuoto o con gas inerte.
- Camicia di raffreddamento ad acqua integrata: Le flange sottovuoto includono una camicia di raffreddamento ad acqua integrata per proteggere gli O-ring di tenuta e la strumentazione dall'esposizione alle alte temperature, garantendo l'integrità della tenuta a lungo termine durante il funzionamento continuo.
- Isolamento termico superiore: Utilizzando un isolamento in allumina fibrosa ad alta purezza a risparmio energetico, il forno riduce al minimo la perdita di calore e migliora i tempi di rampa di temperatura mantenendo la temperatura esterna dell'involucro inferiore a 70°C.
- Sistemi di sicurezza completi: La protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia, insieme a un allarme di sovratemperatura, consentono un funzionamento sicuro e incustodito durante cicli termici di lunga durata.
- Architettura a doppia ventola di raffreddamento: Una struttura dell'involucro in acciaio a doppio strato combinata con due ventole di raffreddamento ad alta velocità garantisce un'efficiente dissipazione del calore, prolungando la durata dei componenti elettronici interni.
- Comunicazione digitale e software: Le porte di comunicazione RS485 integrate consentono il controllo e il monitoraggio basati su PC, consentendo all'utente di salvare, caricare e analizzare profili di riscaldamento complessi a 30 segmenti da remoto.
- Versatile compatibilità dei materiali: Il tubo in quarzo di grande diametro e i tipi di blocchi termici tampone inclusi sono ottimizzati per un'ampia varietà di crogioli, barchette per wafer e sistemi di trasporto dei materiali.
Applicazioni
| Applicazione | Descrizione | Vantaggio chiave |
|---|---|---|
| Ricottura di wafer di semiconduttori | Trattamento ad alta temperatura di grandi wafer di silicio o semiconduttori composti in atmosfere controllate. | L'eccezionale uniformità sull'intero lotto di wafer riduce i tassi di difettosità. |
| Scale-up CVD & PECVD | Sintesi di materiali 2D, nanotubi di carbonio o film sottili su ampie aree di substrato. | Il controllo a sette zone consente una decomposizione precisa dei precursori e gradienti di deposizione. |
| Sinterizzazione ceramica avanzata | Consolidamento di polveri ceramiche ad alte prestazioni in componenti strutturali densi. | L'isolamento in allumina ad alta purezza previene la contaminazione e garantisce l'integrità del materiale. |
| Ricerca sui materiali per batterie | Calcinazione e sintesi di materiali catodici o anodici per l'accumulo di energia di nuova generazione. | Il controllo affidabile del vuoto e del gas consente reazioni redox stabili durante la lavorazione. |
| Metallurgia e sviluppo di leghe | Trattamento termico e distensione di componenti in lega specializzati in atmosfere protettive. | Il grande diametro del tubo ospita parti industriali complesse e dime specializzate. |
| Carbonizzazione della fibra di carbonio | Lavorazione continua o a lotti di precursori di fibra a temperature elevate per ottenere un'elevata resistenza alla trazione. | La lunga zona di riscaldamento garantisce una storia termica coerente per l'intera lunghezza della fibra. |
| Sintesi di elettroliti allo stato solido | Reazione ad alta temperatura di polveri per formare strati elettrolitici densi per batterie allo stato solido. | La precisa programmazione a 30 segmenti consente cicli di reazione complessi e multistadio. |
Specifiche tecniche
| Parametro | Specifiche per TU-87 |
|---|---|
| Numero modello | TU-87 |
| Struttura del forno | Involucro in acciaio a doppio strato con doppie ventole di raffreddamento; copertura superiore divisa azionata da cilindri elettrici |
| Isolamento | Allumina fibrosa ad alta purezza con blocchi termici tampone inclusi |
| Temperatura max. | 1200°C |
| Temperatura continua | 1100°C (a pressione atmosferica); < 1000°C (sotto vuoto) |
| Lunghezza zona di riscaldamento | Totale 2100mm (82,6"); 7 zone ciascuna che misura 300mm (11,8") |
| Lunghezza zona uniforme | 1350 mm entro ± 2ºC |
| Velocità di riscaldamento | Max 10°C/min |
| Dimensioni del tubo | Quarzo fuso; 8,5" DE x 8,1" DI x 60" L (216mm x 206mm x 2500mm) |
| Flange sottovuoto | SS 304 con doppi O-ring in silicone e camicia di raffreddamento ad acqua |
| Controllo atmosfera | Due valvole a spillo per ingresso/uscita gas; un manometro per vuoto/pressione incluso |
| Livello di vuoto | 10-2 torr (pompa meccanica); 10-5 torr (turbopompa) |
| Controller di temperatura | 7x controller PID digitali; 30 segmenti programmabili; certificazione MET/CE |
| Precisione della temperatura | ± 1 ºC (± 0,1 ºC con aggiornamento opzionale Eurotherm) |
| Potenza in ingresso | Trifase 460VAC, 50/60 Hz |
| Consumo energetico | 50 kW Max (richiesto interruttore da 70 A) |
| Conformità | Certificazione CE; NRTL (UL61010) o CSA disponibili su richiesta |
Perché scegliere il forno a tubo diviso a sette zone ad alta temperatura
- Uniformità termica senza pari: L'architettura a sette zone fornisce l'area di riscaldamento stabile più lunga della sua categoria, garantendo che i campioni industriali su larga scala sperimentino condizioni termiche identiche da un'estremità all'altra.
- Robustezza di grado industriale: Progettato per il funzionamento continuo, questo sistema presenta una costruzione in acciaio premium, raffreddamento avanzato ed elettronica PID di alta qualità certificata secondo gli standard internazionali.
- Integrità del vuoto di precisione: Le nostre flange specializzate in acciaio inossidabile e i tubi in quarzo ad alta purezza consentono ai ricercatori di mantenere ambienti ultra-puliti, essenziali per applicazioni sensibili nei settori dei semiconduttori e aerospaziale.
- Automazione avanzata dei processi: Con la programmazione a 30 segmenti e l'integrazione software opzionale, i cicli termici complessi vengono facilmente automatizzati, riducendo l'errore dell'operatore e aumentando il rendimento.
- Personalizzazione flessibile: Dagli aggiornamenti del controller Eurotherm ai sistemi di erogazione del gas personalizzati, offriamo la flessibilità necessaria per adattare questo forno alle vostre specifiche esigenze di ricerca o produzione.
Il nostro team di ingegneri è pronto ad assistervi nella configurazione della soluzione termica ideale per il vostro laboratorio o linea di produzione. Contattateci oggi per una consulenza tecnica o per richiedere un preventivo formale.
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