Forno tubolare
Forno a tubo diviso a tre zone ad alta temperatura 1500°C con tubo in allumina da 80 mm e flangia per vuoto
Numero articolo: TU-65
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Panoramica del prodotto



Questo sistema di trattamento termico ad alte prestazioni è progettato per soddisfare le rigorose esigenze della scienza dei materiali avanzata e della ricerca e sviluppo industriale. Dotato di una sofisticata architettura di riscaldamento a tre zone, l'apparecchiatura consente la creazione di plateau termici incredibilmente stabili o gradienti di temperatura precisi. Utilizzando tubi di lavorazione in allumina ad alta purezza e un design a forno diviso, questa unità fornisce una piattaforma versatile per la sintesi ad alta temperatura, la sinterizzazione e la ricottura fino a 1500°C. Il valore fondamentale risiede nella capacità di fornire risultati ripetibili e ad alta precisione in ambienti che spaziano dall'alto vuoto alle atmosfere controllate, garantendo che la ricerca critica rimanga coerente e scalabile.
Rivolto a settori come la produzione di semiconduttori, la ceramica aerospaziale e la ricerca metallurgica, questo sistema eccelle nelle applicazioni in cui l'uniformità termica è essenziale. L'apparecchiatura è progettata per ambienti di laboratorio multiuso in cui i diversi tubi di lavorazione potrebbero dover essere sostituiti rapidamente per soddisfare le diverse esigenze sperimentali. La sua costruzione robusta e gli elementi riscaldanti all'avanguardia lo rendono un cavallo di battaglia affidabile sia per le istituzioni accademiche che per i laboratori industriali focalizzati sulla prossima generazione di materiali.
L'affidabilità è al centro del design di questa apparecchiatura. Incorporando un sistema di sicurezza a interblocco recentemente aggiornato ed elementi riscaldanti in carburo di silicio di alta qualità, l'unità è costruita per garantire longevità e sicurezza operativa. Anche durante il funzionamento continuo ad alta temperatura a 1400°C, il sistema mantiene la sua integrità strutturale e precisione. Gli acquirenti industriali possono avere piena fiducia nelle prestazioni dell'apparecchiatura in cicli di lavoro impegnativi, supportati da un controllo PID completo e meccanismi di protezione dal surriscaldamento ridondanti che consentono operazioni incustodite senza compromettere la sicurezza o l'integrità del campione.
Caratteristiche principali
- Riscaldamento a tre zone controllato indipendentemente: Il sistema presenta tre zone di riscaldamento distinte da 200 mm (totale 600 mm), ciascuna gestita dal proprio controller e termocoppia di tipo S. Ciò consente una zona a temperatura costante di 350 mm con un'uniformità di ±2ºC o la creazione di gradienti termici personalizzati per applicazioni di trasporto di vapore.
- Regolazione precisa della temperatura PID: Dotata di tre controller programmabili a 30 segmenti, l'apparecchiatura offre una logica di micro-elaborazione avanzata per gestire velocità di riscaldamento, velocità di raffreddamento e tempi di sosta con una precisione di ±1°C.
- Design ergonomico a camera divisa: L'alloggiamento del forno è progettato per aprirsi longitudinalmente, facilitando la sostituzione del tubo, il caricamento del campione e l'integrazione di complessi array di sensori interni senza smontare l'intero gruppo della flangia per vuoto.
- Sistema di interblocco di sicurezza avanzato: Integrato nella struttura del forno, uno speciale interblocco di sicurezza interrompe automaticamente l'alimentazione agli elementi riscaldanti quando la camera viene aperta, proteggendo gli operatori dall'esposizione elettrica e termica durante l'ispezione o la manutenzione.
- Elementi in carburo di silicio (SiC) ad alte prestazioni: Dotato di 24 barre in SiC di alta qualità classificate per 1500°C (diametro 14 mm), il sistema garantisce una rapida risposta termica e un trasferimento di calore radiante uniforme in tutto il tubo di lavorazione ceramico.
- Versatile capacità atmosferica: L'apparecchiatura viene fornita con tubi in allumina ad alta purezza e flange per vuoto lavorate con precisione, supportando livelli di vuoto fino a 10E-5 torr (con pompe molecolari) e ambienti gassosi a bassa pressione.
- Circuiti di protezione completi: Le protezioni integrate contro il surriscaldamento e la rottura delle termocoppie offrono tranquillità durante i cicli di lunga durata, inclusi allarmi acustici e visivi che si attivano automaticamente in caso di deviazioni.
- Comunicazione digitale espandibile: Dotata di una porta RS485 standard, l'unità può essere aggiornata con moduli di controllo basati su PC per la registrazione dei dati in tempo reale, la gestione remota delle ricette e la verifica automatizzata dei cicli tramite software basato su Labview.
- Opzioni di tubi durevoli in mullite/allumina: Il sistema supporta vari materiali per tubi, tra cui allumina standard (80 mm OD) e mullite opzionale (82 mm OD), consentendo agli utenti di ottimizzare la compatibilità chimica e la resistenza agli shock termici in base a specifici requisiti di processo.
Applicazioni
| Applicazione | Descrizione | Vantaggio principale |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | Deposizione chimica da vapore per la crescita di film sottili e nanotubi di carbonio. | Il controllo preciso del gradiente consente una deposizione uniforme del film su grandi substrati. |
| Sinterizzazione ceramica tecnica | Densificazione ad alta temperatura di ceramiche avanzate a base di ossidi e non ossidi. | La capacità di picco di 1500°C consente la sintesi di ceramiche tecniche ad alto punto di fusione. |
| Ricottura di semiconduttori | Trattamento termico controllato di wafer di silicio o materiali semiconduttori composti. | Il controllo a tre zone garantisce una storia termica identica lungo l'intera lunghezza del tubo di processo. |
| Crescita dei cristalli | Tecniche di trasporto di vapore e solidificazione direzionale per la sintesi di monocristalli. | La programmazione indipendente delle zone consente la regolazione fine del movimento dell'interfaccia liquido-solido. |
| Degasaggio sottovuoto | Rimozione di impurità volatili e gas da leghe metallurgiche specializzate. | Il design della flangia ad alto vuoto mantiene l'integrità strutturale sotto vuoto spinto ad alte temperature. |
| Ricerca sui materiali per batterie | Calcinazione e ciclaggio termico di precursori di anodi/catodi in atmosfere inerti o ossidanti. | Le robuste termocoppie di tipo S forniscono la stabilità a lungo termine richiesta per i test di ciclaggio di più giorni. |
Specifiche tecniche
| Parametro | Dettagli specifici per TU-65 |
|---|---|
| Numero modello | TU-65 |
| Temperatura max. | 1500°C (< 1 ora) |
| Temperatura di lavoro continua | 1400°C |
| Velocità di riscaldamento | Consigliata 5°C/min |
| Potenza nominale | 9KW |
| Tensione di ingresso | AC220V Monofase, 50/60Hz (Richiede interruttore da 50A) |
| Configurazione zona di riscaldamento | Tre zone: 200 mm per zona (600 mm lunghezza totale) |
| Zona a temperatura uniforme | 350 mm (± 2ºC) quando tutte le zone sono impostate sullo stesso setpoint |
| Precisione della temperatura | ± 1ºC di precisione con controllo programmabile PID a 30 segmenti |
| Tubo di lavorazione (Standard) | Tubo in allumina: 80 mm O.D × 74 mm I.D × 1200 mm L |
| Tubo di lavorazione (Opzionale) | Tubo in mullite: 82 mm O.D × 73 mm I.D × 1200 mm L |
| Elementi riscaldanti | 24 pz barre in carburo di silicio (14mm Dia x 150mm Calore x 413mm L) |
| Termocoppie | 3 pz tipo S (una per ogni zona di riscaldamento) |
| Capacità di vuoto | 10E-2 torr (pompa meccanica) / 10E-5 torr (pompa molecolare) |
| Limitazione flusso gas | < 200 SCCM (200 ml/min) utilizzando regolatore a due stadi (< 3 PSI) |
| Pressione operativa max. | < 0.02 Mpa (per applicazioni con tubo in mullite) |
| Interfaccia di comunicazione | RS485 (Modulo di controllo PC MTS-02 opzionale disponibile) |
| Conformità | Certificato CE; NRTL (UL61010) o CSA disponibili su richiesta |
| Caratteristiche di sicurezza | Sistema di interblocco integrato (Attivo da giugno 2015); Allarme per surriscaldamento/TC rotta |
Perché scegliere TU-65
- Uniformità termica superiore: L'architettura TU-65 utilizza un sistema di controllo indipendente a tripla zona che elimina gli effetti di estremità fredda comuni nei forni a zona singola, fornendo una finestra di elaborazione utilizzabile significativamente più ampia.
- Ingegneria di precisione e qualità costruttiva: Costruita con materiali refrattari di alta qualità e un alloggiamento diviso per impieghi gravosi, questa unità è progettata per una durata di livello industriale e una facile manutenzione nei laboratori ad alto rendimento.
- Maggiore sicurezza dell'operatore: A differenza dei modelli più vecchi, il TU-65 presenta un moderno sistema di interblocco hardware che riduce al minimo il rischio di esposizione termica o elettrica accidentale, soddisfacendo i moderni standard di sicurezza di laboratorio.
- Controllo atmosferico versatile: Che il processo richieda un alto vuoto o un flusso di gas ultrapuro, il design specializzato della flangia e il posizionamento del blocco termico garantiscono risultati coerenti e proteggono le parti interne del forno.
- Affidabilità e supporto comprovati: Con la certificazione CE standard e la conformità NRTL/CSA opzionale, questo sistema è una piattaforma riconosciuta a livello globale per la sintesi dei materiali, supportata da un supporto tecnico completo e consumabili di ricambio disponibili.
Per ulteriori informazioni sul TU-65 o per richiedere una configurazione personalizzata della zona di riscaldamento per i tuoi specifici requisiti di R&S, contatta oggi stesso il nostro team di vendita tecnica per un preventivo formale.
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