Forno a tubo diviso a sei zone con tubo in allumina e flange per vuoto per trattamento termico ad alta temperatura a 1500°C e CVD

Panoramica del prodotto

Questo forno a tubo diviso a sei zone ad alte prestazioni rappresenta l'apice dell'ingegneria termica per la scienza dei materiali moderna e la ricerca e sviluppo industriale. Progettato per operare a temperature che raggiungono i 1500°C, questo sistema offre ai ricercatori un controllo senza precedenti sugli ambienti termici, sia che il requisito sia una zona di temperatura perfettamente uniforme o un gradiente termico altamente specifico. Integrando elementi riscaldanti avanzati con un design modulare a telaio diviso, l'apparecchiatura facilita il rapido carico e scarico dei campioni senza compromettere l'integrità di configurazioni sperimentali complesse o delicate connessioni per il vuoto.

Progettata principalmente per applicazioni di deposizione chimica da vapore (CVD), ricottura e sinterizzazione, questa unità serve settori che vanno dalla produzione di semiconduttori alla ceramica avanzata e ai test sui materiali aerospaziali. La versatilità della configurazione a sei zone consente la simulazione di processi industriali complessi su scala di laboratorio, fornendo i dati necessari per la produzione su larga scala. La sua capacità di mantenere tolleranze strette sotto vuoto o in atmosfere controllate lo rende uno strumento fondamentale per i laboratori che spingono i confini del comportamento dei materiali ad alta temperatura.

L'affidabilità è il segno distintivo di questo sistema di trattamento termico. Costruito con componenti per impieghi gravosi e materiali refrattari in allumina ad alta purezza, il forno è costruito per un funzionamento continuo in ambienti esigenti. Ogni aspetto, dalle robuste aste riscaldanti in carburo di silicio alle flange per vuoto lavorate con precisione, è selezionato per garantire ripetibilità e durata a lungo termine. Gli operatori possono procedere con esperimenti a ciclo lungo con piena fiducia nella capacità del sistema di mantenere la purezza atmosferica e la stabilità termica, sessione dopo sessione.

Caratteristiche principali

• Controllo termico indipendente a sei zone: La camera di riscaldamento è divisa in sei zone distinte (12" + 8" + 8" + 8" + 8" + 12"), ciascuna gestita dal proprio controller dedicato. Questa configurazione consente la creazione di gradienti termici su misura fino a 100°C/cm o una zona di temperatura uniforme eccezionalmente lunga di 800 mm, offrendo flessibilità per diversi progetti di ricerca.
• Tubo di lavorazione in allumina ad alta purezza: Dotato di un tubo in allumina di grado professionale che misura 60 mm di diametro esterno e 1800 mm di lunghezza, il sistema offre un'eccellente resistenza chimica e integrità strutturale a temperature estreme, garantendo che i campioni rimangano privi di contaminazione durante i cicli ad alto calore.
• Strumentazione PID di precisione: Ognuno dei sei controller di temperatura digitali dispone di 30 segmenti programmabili. Ciò consente una gestione meticolosa delle velocità di rampa, dei tempi di sosta e delle fasi di raffreddamento. Con una precisione di ±1°C, il sistema offre la precisione rigorosa richiesta per processi sensibili di semiconduttori e metallurgici.
• Elementi riscaldanti avanzati in carburo di silicio: Utilizzando 48 aste in SiC di alta qualità, il forno raggiunge un riscaldamento rapido e mantiene la stabilità ad alta temperatura. Questi elementi sono selezionati specificamente per la loro longevità ed efficienza in atmosfere ossidative e neutre, superando gli elementi metallici standard in termini di durata alle alte temperature.
• Capacità integrata di vuoto e atmosfera: Il sistema include flange in acciaio inossidabile sigillate sottovuoto con doppi O-ring in silicone ad alta temperatura. È in grado di raggiungere livelli di vuoto di 10^-2 Torr con pompe meccaniche e fino a 10^-5 Torr con sistemi molecolari, rendendolo ideale per applicazioni sensibili all'ossigeno.
• Ingegneria a cerniera divisa: Il corpo del forno presenta un design diviso che si apre longitudinalmente. Ciò consente un facile accesso al tubo di lavorazione e alla camera di riscaldamento interna, semplificando il processo di pulizia, posizionamento del campione e manutenzione degli elementi riscaldanti senza smantellare l'intero sistema di erogazione del gas.
• Sistemi di sicurezza completi: La protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia garantisce che l'apparecchiatura si spenga in sicurezza in caso di guasto di un componente. Allarmi visivi e acustici avvisano gli operatori delle deviazioni di temperatura, consentendo il funzionamento incustodito durante i cicli di sosta prolungati.
• Interfaccia di comunicazione espandibile: L'inclusione di una porta di comunicazione RS485 consente al forno di essere integrato con moduli di controllo basati su PC. Ciò consente il monitoraggio remoto, la registrazione dei dati e la gestione di complesse ricette di trattamento termico attraverso ambienti software centralizzati.

Applicazioni

Specifiche tecniche

Per il forno della serie TU-67, fare riferimento ai dati tecnici completi di seguito. Queste specifiche riflettono la configurazione standard progettata per ambienti di laboratorio ad alte prestazioni.

Potenza e prestazioni

Dimensioni della zona di riscaldamento e del tubo

Strumentazione e vuoto

Note operative

• Per il funzionamento sottovuoto, la temperatura non deve superare i 1300°C.
• Le portate del gas devono essere mantenute al di sotto di 200 SCCM.
• L'uso di un regolatore di pressione a due stadi è obbligatorio per la sicurezza della bombola del gas.
• Non utilizzare crogioli di grafite a diretto contatto con il tubo di allumina.

Perché scegliere TU-67

• Versatilità termica senza pari: L'architettura a sei zone del TU-67 offre ai tecnici di laboratorio la capacità unica di personalizzare profili termici che i forni a zona singola semplicemente non possono ottenere, rendendolo lo strumento più flessibile della sua categoria.
• Costruzione industriale per impieghi gravosi: Utilizzando 48 aste in SiC individuali e isolamento in allumina ad alta densità, questo forno è progettato per la longevità e una manutenzione minima, anche se sottoposto a ripetuti cicli a 1500°C.
• Precisione e stabilità: L'integrazione di termocoppie di tipo S e logica PID di precisione garantisce che i dati di ricerca siano supportati da condizioni termiche stabili e ripetibili, riducendo le variabili in esperimenti complessi.
• Controllo atmosferico avanzato: Che il processo richieda un alto vuoto o un ambiente specifico con gas inerte, il sistema di flange di alta qualità garantisce un ambiente privo di perdite per reazioni chimiche pure.
• Standard di sicurezza globali: Con la certificazione CE standard e l'opzione per aggiornamenti UL o CSA, questa apparecchiatura soddisfa i rigorosi requisiti di sicurezza delle principali istituzioni di ricerca accademiche e aziendali in tutto il mondo.

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