Forno a tubo ad alta temperatura 1700°C con sistema di pompa turbomolecolare ad alto vuoto e miscelatore di gas con controller di flusso di massa multicanale

Panoramica del prodotto

Questo sistema di trattamento termico ad alte prestazioni è progettato per la scienza dei materiali avanzata e per applicazioni di ricerca industriale che richiedono temperature estreme e condizioni atmosferiche ultra-pure. Integrando un forno a tubo in allumina da 1700°C con una stazione di vuoto turbomolecolare ad alte prestazioni e un modulo di erogazione gas a flusso di massa di precisione, l'apparecchiatura fornisce una soluzione "chiavi in mano" per complessi processi di deposizione chimica da vapore (CVD), diffusione e sinterizzazione. Il design robusto garantisce ai ricercatori risultati altamente ripetibili, mantenendo l'integrità di campioni sensibili sotto un livello di vuoto fino a 10^-5 Torr.

Destinata alla produzione di semiconduttori, allo sviluppo aerospaziale e all'ingegneria delle ceramiche avanzate, questa unità colma il divario tra la sperimentazione di laboratorio e la produzione pilota. La sua architettura versatile consente il controllo preciso di molteplici specie gassose, rendendola uno strumento essenziale per la creazione di film sottili, nanofili e complessi materiali 2D. L'intero assemblaggio è montato su un carrello mobile per carichi pesanti, che consente un facile spostamento e una perfetta integrazione in camere bianche o spazi di laboratorio esistenti senza la necessità di complesse installazioni permanenti.

L'affidabilità è al centro del design di questo forno. Utilizzando elementi riscaldanti in disiliciuro di molibdeno (MoSi2) di alta qualità e una camera refrattaria in allumina ad alta purezza, il sistema è costruito per resistere ai rigorosi cicli termici richiesti dalla R&S industriale. L'inclusione di un involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento a ventola integrato garantisce che le temperature superficiali esterne rimangano sicure per gli operatori anche durante le operazioni ad alta temperatura. Questa enfasi sulla sicurezza, combinata con il controllo PID ad alta precisione e componenti per il vuoto di ingegneria tedesca, fornisce la coerenza operativa a lungo termine richiesta dai team di approvvigionamento professionali e dai ricercatori principali.

Caratteristiche principali

• Eccezionale gamma termica: Questo sistema raggiunge una temperatura di riscaldamento massima di 1650°C con una temperatura di lavoro continua di 1600°C, alimentato da otto elementi riscaldanti in MoSi2 di alta qualità posizionati specificamente per un'ottimale uniformità termica.
• Integrazione alto vuoto: Dotato di una pompa turbomolecolare Pfeiffer originale, il sistema raggiunge una pressione finale di <1E-7 mbar, facilitando un ambiente privo di ossigeno critico per la sintesi di materiali ad alta purezza e processi sensibili alla contaminazione.
• Controllo preciso del flusso di massa: La stazione di miscelazione gas integrata dispone da 2 a 4 canali di controller di flusso di massa digitali (MFC), consentendo l'erogazione esatta di gas di processo come azoto, elio o idrogeno con elevata ripetibilità e supervisione tramite touchscreen digitale.
• Logica di controllo PID avanzata: Il controller di temperatura utilizza un sistema di resistori a limitazione di corrente con accensione ad angolo di fase e 30 segmenti programmabili, mantenendo una precisione di ±1°C lungo l'intera rampa di riscaldamento.
• Ingegneria della camera robusta: Il forno utilizza un tubo di processo in allumina ad alta purezza con diametro esterno di 60 mm e una camera refrattaria in allumina ad alta purezza per ridurre al minimo la perdita termica e prevenire la contaminazione chimica incrociata durante i cicli ad alto calore.
• Gestione intelligente del vuoto: La stazione ad alto vuoto è dotata di un funzionamento a pulsante singolo per la pompa a membrana e la turbopompa, con velocità di rotazione controllate dal sistema che si regolano automaticamente in base al livello di vuoto e ai tassi di perdita.
• Protocolli di sicurezza avanzati: Un meccanismo di autoprotezione integrato monitora le condizioni di surriscaldamento e sovracorrente, rallentando o arrestando automaticamente la turbina se i tassi di perdita superano le soglie operative di sicurezza per evitare danni alla pompa.
• Opzioni di interfaccia flessibili: Il sistema include una porta di comunicazione RS485 ed è compatibile con kit software avanzati per il controllo remoto da PC, integrazione LabVIEW e registrazione dati completa per audit di controllo qualità.

Applicazioni

Specifiche tecniche

Specifiche principali del forno (TU-83)

Specifiche della stazione ad alto vuoto

Sistema di controllo gas a flusso di massa (MFC)

Perché scegliere questo sistema ad alta temperatura

Questa soluzione integrata rappresenta un investimento significativo nella capacità di laboratorio, offrendo un livello di precisione e affidabilità che i componenti autonomi non possono eguagliare. Alloggiando il forno, la stazione del vuoto e l'unità di miscelazione del gas in un'unica piattaforma mobile ingegnerizzata, il sistema elimina la complessa risoluzione dei problemi spesso associata alle configurazioni multi-fornitore. L'uso di componenti premium, come la pompa turbomolecolare tedesca Pfeiffer e gli elementi in MoSi2 di alta qualità, garantisce che il sistema mantenga la coerenza operativa per anni di utilizzo intensivo in ambienti di R&S industriali.

Inoltre, il sistema è progettato pensando alla scalabilità e alla personalizzazione. Che tu richieda canali gas aggiuntivi per CVD complessi a precursori multipli o controller di temperatura aggiornati di Eurotherm per la compatibilità con LabVIEW, questa architettura si adatta alle tue specifiche esigenze di ricerca. Il design certificato CE e l'opzione per la certificazione NRTL/UL/CSA forniscono ai team di approvvigionamento la certezza che questa apparecchiatura soddisfi i più elevati standard internazionali di sicurezza e qualità. Questo non è solo un forno, ma un ambiente di trattamento termico completo progettato per le sfide più impegnative della scienza dei materiali.

Contatta oggi stesso il nostro team di vendita tecnica per un preventivo dettagliato o per discutere una configurazione personalizzata su misura per le tue specifiche esigenze di ricerca.